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前烘潔凈烘箱,半導體工藝烤箱
前烘潔凈烘箱,半導體工藝烤箱

前烘潔凈烘箱,半導體工藝烤箱,用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強制送風循環(huán)方式。

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半導體光刻烤箱晶圓涂膠烤箱
半導體光刻烤箱晶圓涂膠烤箱

半導體光刻烤箱晶圓涂膠烤箱、光刻涂膠用烘箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設備。箱內(nèi)空氣封閉自循環(huán)。經(jīng)耐高溫高效空氣過濾器過濾,使烘箱工作室內(nèi)處于無塵狀態(tài)。

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半導體工藝潔凈烘箱,百級無塵烘箱
半導體工藝潔凈烘箱,百級無塵烘箱

半導體工藝潔凈烘箱,百級無塵烘箱具有*設計的強鼓風循環(huán)系統(tǒng)確保了溫度的穩(wěn)定性,高效循環(huán)過濾系統(tǒng)確保箱內(nèi)的潔凈度,控溫裝置采用 PID 數(shù)顯控溫(可選觸摸屏等),直觀醒目,設有可靠性保護裝置。

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HMDS烘箱,半導體工藝HMDS設備
HMDS烘箱,半導體工藝HMDS設備

HMDS烘箱,半導體工藝HMDS設備有可自動吸取添加HMDS功能,智能型的程式設定,一鍵完成作業(yè)。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯(lián)劑的作用。

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RTP快速退火爐,半導體工藝快速熱處理設備
RTP快速退火爐,半導體工藝快速熱處理設備

RTP快速退火爐,快速熱處理設備(RTP)簡介 快速熱處理設備(RTP)可用于砷化鎵、硅以及其他半導體材料,離子注入后的退火、硅化物的形成、歐姆接觸制備以及快速氧化、快速氮化等方面。RTP快速退火爐,快速熱處理設備(RTP)具有快速升降溫、慢速升降溫、和長工作時間穩(wěn)定等特點。也可用于各種半導體材料的CVD工藝的熱處理。

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等離子去膠機,半導體工藝表面處理機
等離子去膠機,半導體工藝表面處理機

等離子去膠機,等離子表面處理機采用國內(nèi)*射頻源,其電磁兼容性能優(yōu)良、高頻輻射小,符合國家環(huán)保規(guī)定。本機外形美觀大方,操作簡便。等離子去膠機,半導體工藝表面處理機適于對基片進行去膠、清洗等工藝。該設備具有去膠工藝簡單、可靠、*、速率快、成品率高、處 理后無酸氣廢水等殘留等特點。

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等離子清洗機,等離子表面處理儀 實驗室等離子清洗機
等離子清洗機,等離子表面處理儀 實驗室等離子清洗機

等離子清洗機,等離子表面處理儀是一種表面處理設備, 用氣體作為處理介質(zhì),它是利用能量轉(zhuǎn)換技術以電能將氣體轉(zhuǎn)換為化學反應性和活性很高的氣體等離子體,等離子體對固體樣品表面進行相互作用,引起分子結構改變,從而對樣品表面的有機污染物進行超清洗和使樣品表面改性,以獲得希望的表面特性。

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