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雙腔無氧烤箱，兩箱無氧烘箱單腔內(nèi)尺寸：W450×D450×H450，上下層兩個(gè)腔體，可定制其他尺寸，多腔體

鈮酸鋰無氧化烘箱用于半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于聚酰亞胺PI膠、CPI膠、BCB膠固化、低K電介質(zhì)固化，LCP材料熱處理、鍵合材料預(yù)處理，F(xiàn)OWLP扇出封裝，ITO膜/鋁/銅退火，PBO膠固化等特殊工藝。

PI無氧烘箱工藝流程用于半導(dǎo)體/電子/新材料/新能源等行業(yè)。BCB、PI、PBO膠固化，LCP新材料、鋰電池等產(chǎn)品熱處理。

精密干燥箱，高精度烘箱用于半導(dǎo)體，電子，實(shí)驗(yàn)室，金屬，橡膠等行業(yè)。烘干，固化，老化等工藝。可延伸為真空烘箱，無氧烘箱，潔凈烘箱，HMDS烘箱等。

PI烘箱，厭氧烘箱固相亞胺化常用于PI薄膜的制備即將PAA溶液澆鑄成膜后加熱進(jìn)行亞胺化溶液亞胺化是在PAA溶液中加入共沸溶劑加熱回流通過共沸溶劑的蒸出帶出反應(yīng)過程中產(chǎn)生的水促進(jìn)反應(yīng)進(jìn)一步進(jìn)行。

智能型無塵無氧烘箱，高溫?zé)o塵 無氧化烘箱又稱為PI固化烘箱，厭氧烘箱，高溫?zé)o氧烘箱，用于PI、BCB膠高溫固化、LCP熱處理烘烤、光刻膠固化等電子，半導(dǎo)體、新材料行業(yè)。

高溫氮?dú)庹婵湛鞠洌?00度無氧烘箱用于鍵合材料的真空預(yù)處理 、光刻膠固化、堅(jiān)膜，BCB固化、ITO膜退火，PI（聚酰亞胺）固化等工藝