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六甲基二硅氮烷(HMDS)表面處理設(shè)備 工業(yè)烘箱
六甲基二硅氮烷(HMDS)表面處理設(shè)備 工業(yè)烘箱

六甲基二硅氮烷(HMDS)表面處理設(shè)備的作用是勻膠前襯底“增附”處理。在光刻中,通常會(huì)用到一些例如藍(lán)寶石、氮化鎵、砷化鎵甚至是貴金屬薄膜等襯底,這類襯底與光刻膠的粘附性往往不怎么理想,這會(huì)導(dǎo)致后續(xù)的光刻顯影環(huán)節(jié)出現(xiàn)“裂紋”甚至是漂膠等問題。因此必須通過工藝手段改善,這個(gè)步驟我們叫做增附處理或者叫做助黏。

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HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )-真空烘箱
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )-真空烘箱

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝,同一個(gè)容器中進(jìn)行,晶片在箱內(nèi)先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤,再進(jìn)行HMDS處理,不需要從箱內(nèi)傳出,而接觸到空氣,晶片吸收水分子的機(jī)會(huì)大大降低,所以有更好的處理效果。

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智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)
智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)

智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

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智能型HMDS系統(tǒng)真空泵,HMDS涂膠機(jī)干泵
智能型HMDS系統(tǒng)真空泵,HMDS涂膠機(jī)干泵

智能型HMDS系統(tǒng)真空泵,HMDS涂膠機(jī)干泵密封設(shè)計(jì)(電機(jī)和所有軸承與真空環(huán)路*隔開)延長了軸承的使用壽命, 還可提供潔凈、無油的真空條件??蛇x的集成入口保護(hù)閥內(nèi)置于泵模塊中, 可根據(jù)需要使用,不會(huì)額外增加泵的高度。

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HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置
HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置

HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置通過對(duì)箱體內(nèi)預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,增加了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

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HMDS預(yù)處理系統(tǒng)報(bào)價(jià) 真空烘箱
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)報(bào)價(jià) 真空烘箱

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)報(bào)價(jià)它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

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HMDS預(yù)處理系統(tǒng) 真空烘箱
HMDS預(yù)處理系統(tǒng) 真空烘箱

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料。

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