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氮?dú)夂嫦洌南涞獨(dú)饪鞠?,不銹鋼充氮烘箱

氮?dú)夂嫦?,四箱氮?dú)饪鞠?,不銹鋼充氮烘箱

簡要描述:

氮?dú)夂嫦洌南涞獨(dú)饪鞠?,不銹鋼充氮烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。

氮?dú)夂嫦?,四箱氮?dú)饪鞠?,不銹鋼充氮烘箱用途:

  氮?dú)夂嫦?,不銹鋼充氮烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

氮?dú)夂嫦?,四箱氮?dú)饪鞠洌讳P鋼充氮烘箱技術(shù)參數(shù):

1.名稱:精密充氮烘箱(JS-DJQ)

2、主要技術(shù)指標(biāo):

2.1溫度范圍: RT+10~250、350/450℃;

2.2溫度均勻度:≤±1.5%℃;

2.3升溫速度:0-10℃/min;

2.4潔凈度:無發(fā)塵材料,可達(dá)使用環(huán)境潔凈等級(jí);

2.5工作尺寸:4545450mm,600×W700×H800mm;多尺寸可定制

2.6電源:AC220V、380V/50HZ, 4.0KW ;

2.7 計(jì)時(shí)功能:具有獨(dú)立的計(jì)時(shí)器,計(jì)時(shí)復(fù)位開關(guān),計(jì)時(shí)報(bào)警器;

2.8 進(jìn)氣口:φ6mmN2進(jìn)氣、流量計(jì)控制0-250ML可調(diào);

2.9 安全保護(hù)功能:超溫保護(hù),電機(jī)過熱保護(hù),過流保護(hù),電磁門鎖(防止高溫開門),三色燈指示。

選配功能:

氧濃度:≤10PPM;

潔凈度:class100;

降溫功能:水冷+風(fēng)冷

自動(dòng)化系統(tǒng):MES,GEM等智能系統(tǒng);


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