晶圓退火烤箱，500度退火氮氣烘箱：

      晶圓退火需進行升溫處理，升溫處理具有多個升溫階段,每個升溫階段相應的升溫速率不同,其中,所述多個區(qū)域在每個所述升溫階段中的溫度不同;對所述多個區(qū)域進行保溫處理;對多個區(qū)域采用氮氣保護，該氮氣烘箱采用輔助降溫方式進行降溫處理。

晶圓退火烤箱，500度退火氮氣烘箱技術性能：

1 工作室尺寸  W450mm×450mm×H450mm （90L），可定制

2  材質 內箱采用耐高溫SUS304不銹鋼，外箱采用優(yōu)質冷軋板噴塑

3 溫度范圍 RT+50-550℃

4 控溫精度 +1

5 溫度波動度 ≤±1℃

6 溫度均勻度 ≤1.5%

7 潔凈度class100/class1000/無要求

8電源及總功率 AC 380V±10%/50HZ 

9 升溫速度 1-10℃/min可調

10降溫方式 風冷降溫/水冷

11氧含量 氧含量≤50ppm 

12 數(shù)據(jù)輸出 氧含量分析儀，溫度記錄儀

13操作方式    彩色觸摸屏控制，可程式/定制運行

14 樣品架  2層不銹鋼沖孔托盤

500度退火氮氣烘箱安全保護：

三色報警燈

超溫報警

短路保護

漏電保護

超溫保護，獨立感溫式超溫保護器

電機保護

電子鎖自動鎖緊，防止高溫開門