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HMDS涂布機(jī),HMDS涂膠烤箱 工業(yè)烘箱

HMDS涂布機(jī),HMDS涂膠烤箱 工業(yè)烘箱

簡(jiǎn)要描述:

HMDS涂布機(jī),HMDS涂膠烤箱用于光刻工藝中基板疏水化處理, HMDS 涂布的原理,較常用的黏附劑是六甲基二硅胺烷(HMDS)。在提升光刻膠的黏附性工藝中,實(shí)際上六甲基二硅烷并不是作為粘結(jié)劑所產(chǎn)生作用的,而是HMDS 改變了 SiO2 的界面結(jié)構(gòu),從而使晶圓的性質(zhì)由親水性表面轉(zhuǎn)變?yōu)槭杷员砻妗?/p>

HMDS涂布機(jī),HMDS涂膠烤箱原理:

  HMDS涂膠烤箱用于光刻工藝中基板疏水化處理, HMDS 涂布的原理,常用的黏附劑是六甲基二硅胺烷(HMDS)。在提升光刻膠的黏附性工藝中,實(shí)際上六甲基二硅烷并不是作為粘結(jié)劑所產(chǎn)生作用的,而是HMDS 改變了 SiO2 的界面結(jié)構(gòu),從而使晶圓的性質(zhì)由親水性表面轉(zhuǎn)變?yōu)槭杷员砻妗?/span>

  光刻膠與晶圓表面之間的黏附性問(wèn)題,除了受到分子鍵合的影響,還受到其他重要因素的影響。如表面的水分就是其中的主要因素,會(huì)減少黏附性,從而造成掀膠和側(cè)向腐蝕。HMDS 涂布是涂膠前對(duì)硅片表面進(jìn)行處理,可以增加硅片表面水分子的接觸角,使硅片表面從親水性轉(zhuǎn)化為疏水性。

  HMDS 涂布機(jī)采用蒸汽涂布的方式。簡(jiǎn)單評(píng)價(jià)晶圓的表面黏附性好壞,可以將晶圓進(jìn)行 HMDS 涂布,然后在晶圓的表面滴一滴水珠,然后通過(guò)測(cè)量水珠的接觸角,來(lái)進(jìn)行晶圓表面黏附性好壞的判斷。接觸角的測(cè)量方法如下圖所示,當(dāng)接觸角角度越大,說(shuō)明黏附性越好,也就意味著疏水性越強(qiáng)。

HMDS涂布機(jī),HMDS涂膠烤箱技術(shù)參數(shù):


項(xiàng)目

雋思JS-HMDS90-AI

內(nèi)膽大小

450*450*450(可選數(shù)據(jù))

cycle run(4寸產(chǎn)品)

200

溫度范圍

室溫+10-250

HMDS加熱功能

HMDS流量控制

時(shí)間/調(diào)壓閥,無(wú)flow meter

尾氣排放

溫度精度

分辨率:0.1 波動(dòng)度:±1℃

真空泵

油泵或愛(ài)德華干泵,133PA 

載物托架

兩層

溫度控制

微電腦智能控溫儀

Recipe設(shè)定

人機(jī)交互界面,PLC編程

N2循環(huán)

真空/N2 循環(huán)

HMDS系統(tǒng)

自動(dòng)添加、自動(dòng)吸取、添加量控制

保護(hù)裝置

緊急停止,跳電保護(hù),超溫保護(hù)

其他

耐高溫手套,說(shuō)明書(shū)


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