加勒比在线观看免费女优-国产一级一伦二伦三伦黄片-欧美日韩一区二区中文字幕高清视频-中文字幕社区电影成人

產(chǎn)品中心您的位置:網(wǎng)站首頁 > 產(chǎn)品中心 > HMDS烘箱 > HMDS鍍膜機(jī) > 氣相成底膜烤箱,HMDS蒸氣淀積系統(tǒng) 真空烘箱
氣相成底膜烤箱,HMDS蒸氣淀積系統(tǒng) 真空烘箱

氣相成底膜烤箱,HMDS蒸氣淀積系統(tǒng) 真空烘箱

簡要描述:

氣相成底膜烤箱,HMDS蒸氣淀積系統(tǒng)用于除去硅片表面的污染物(顆粒、有機(jī)物、工藝殘余、可動離子),除去水蒸氣,使基底表面由親水性變?yōu)樵魉?,增強表面的黏附性(HMDS-六甲基二硅胺烷)。

氣相成底膜烤箱,HMDS蒸氣淀積系統(tǒng)的用途:

用于除去硅片表面的污染物(顆粒、有機(jī)物、工藝殘余、可動離子),除去水蒸氣,使基底表面由親水性變?yōu)樵魉裕鰪姳砻娴酿じ叫裕℉MDS-六甲基二硅胺烷)。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料

氣相成底膜烤箱,HMDS蒸氣淀積系統(tǒng)的原理:

1.脫水烘烤,硅片表面極容易受潮,所以在成底膜和涂光刻膠之前必須進(jìn)行脫水烘烤處理;一般在溫度設(shè)定在150-200℃之間,在真空+充氮的氣氛中處理效果更好。

2.HMDS蒸鍍,在系統(tǒng)真空狀態(tài)下,將HMDS藥液吸入系統(tǒng)內(nèi)并*霧化,霧化后的HMDS將均勻的涂布在硅片的表面。

3.堅膜烘烤,HMDS涂布完成后,在系統(tǒng)內(nèi)保持一定的時間,使得HMDS鍍膜更加有效。

4.尾氣排放,HMDS鍍膜完成后排出剩余的氣體,HMDS尾氣處理。

5.涂膠,將完成HMDS成底膜的硅片取出,進(jìn)入下一步涂膠工藝。

氣相成底膜烤箱技術(shù)參數(shù):

1、工作室尺寸:350×350×350(mm)

2、材質(zhì):外箱采用304不銹鋼,內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼

3 、溫度范圍:RT+10-250℃

4 、溫度分辨率: 0.1℃

5、 溫度波動度:≤±0.5

6、真空度:≤133pa(1torr)

7 、潔凈度:class 100,設(shè)備采用無塵材料,適用100級光刻間凈化環(huán)境

8、電源及總功率:AC 220V±10% / 50HZ       功率約2.5KW    

9 、控制儀表:人機(jī)界面

10、HMDS控制:可控制HMDS藥夜添加量

11、真空泵:旋片式油泵(或進(jìn)口無油泵)

12、 保護(hù)裝置:超溫保護(hù),漏電保護(hù),泄露保護(hù),安全保護(hù)等

 

 

COPYRIGHT @ 2016 網(wǎng)站地圖    滬ICP備16022591號-1   

上海雋思實驗儀器有限公司主要經(jīng)營優(yōu)質(zhì)的氣相成底膜烤箱,HMDS蒸氣淀積系統(tǒng) 真空烘箱等,歡迎來電咨詢氣相成底膜烤箱,HMDS蒸氣淀積系統(tǒng) 真空烘箱詳細(xì)資料等信息
地址:上海奉賢柘林工業(yè)區(qū)3213號
亚洲性感美女男人的天堂| 国产日韩在线不卡网站| 好狼色欧美激情国产区| 婷婷国产综合一区二区三区| 日韩高清午夜片在线观看| 日韩人妻精品中文字幕专区不卡| 亚洲欧美日韩专区一区| 亚洲国产欧美日韩在线一区| 国产熟乱老女人露脸视频| 亚洲伦理在线一区二区| 激情五月婷婷久久av| 在线观看国产激情免费视频| 日韩精品视频在线不卡| 久久久久久精品妇女| 一区二区三区蜜桃av| 国产精品成人一区二区艾草| 日韩欧美一区亚洲一区| 亚洲熟妇av一区二区| av成人黄色片在线播放| 一区二区日韩欧美国产| 夜夜春久久天堂亚洲精品| 欧美黑人少妇高潮喷水| 久久精品国产成人综合| 亚洲综合实力最强的国家| 抱着操才爽的免费视频观看| 男人午夜激情免费网站| 国产精品亚洲国产精品| 亚洲人色中文字幕天堂| 亚洲人成伊人久久成| 欧美黄色一区二区三区精品| 香港精品国产三级国产av| av在线成人国产精品欧美| 韩日男人女人性生活视频| 国产欧美成人精品第一区| 中文一级伦理一区二区| 禁止18岁以下观看的视频| 涩久久悠悠一区二区三区| 成人在线午夜免费视频| 91色综合久久久久婷婷| 精品国产美女诱惑久久久| 亚洲黄色手机在线网站|