半導體百級潔凈烘箱，芯片百級烤箱概述

半導體百級潔凈烘箱，芯片百級烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

特點

Ø  在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；

Ø  全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；

Ø  采用單面水平由后向前送風熱風循環(huán)系統(tǒng)，風源由循環(huán)馬達運轉帶動風輪經(jīng)電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；

參數(shù)

Ø  進風口：φ6mmN2進氣、流量計控制;

Ø  排風口： φ3”排風管（外接φ5＂法蘭）;       

Ø  電源：480v , 50Hz，15KW ，電源供應器為UL/FM/CE或3C認證，并有過

Ø  電流保護裝置；   

Ø  網(wǎng)板：5層，2mmt不銹鋼版加工四周內向折成10mm的圓孔承托盤 , 單層

Ø  層載重量可需承重50kg；

Ø  潔凈度：100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風水平層對流循環(huán)方式實

Ø  現(xiàn)并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。

溫度控制器

Ø  彩色觸摸屏控制器TEMI360

a)   控制器：彩色觸摸屏；

b)   顯示器：3.5英寸TFT彩色LCD顯示器；

c)   輸出方式：PID控制輸出；

d)   運行方式：程序方式、定值方式；

e)   設定方式：中/英文菜單，觸摸屏方式輸入；