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HMDS鍍膜機

HMDS鍍膜機

簡要描述:

HMDS鍍膜機通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

HMDS鍍膜機

通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

HMDS鍍膜機

1)設(shè)備外殼采用醫(yī)用級不銹鋼304不銹鋼材質(zhì)制作,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;采用C型不銹鋼加熱管,均勻分布在內(nèi)膽外壁,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置;采用鋼化、防雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內(nèi)物品實驗情況。2)箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)保持高真空度。3)采用微電腦PID控制,系統(tǒng)具有自動控溫,定時,超溫報警等,采用LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡單易用,性能穩(wěn)定.4)智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間。5)HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計,使真空箱密封性能*,確保HMDS氣體無外漏顧慮。6)整個系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)醫(yī)用級316L不銹鋼材料制作,無發(fā)塵材料,適用百級光刻間凈化環(huán)境。

技術(shù)參數(shù)

1設(shè)備名稱

2、設(shè)備型號

JS-HMDS90

3、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)                                                     

3.1 工作室尺寸

 450×450×450(mm) 可選其他數(shù)據(jù)

3.2  材質(zhì)

 外箱采用304不銹鋼,內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼

3.3 溫度范圍

 RT+10-250℃

3.4 溫度分辨率

 0.1℃

3.5 溫度控制精度

 ±0.3%

3.6 真空度

 ≤133pa(1torr)

3.7 潔凈度

 class 100,設(shè)備采用無塵材料,適用100級光刻間凈化環(huán)境

3.8電源及總功率

 AC 220V±10% / 50HZ       總功率約2.0KW    

3.9 控制儀表

 人機界面

3.10擱板層數(shù)

 2層

3.11 HMDS流量控制

 可控制HMDS流量

3.11真空泵

 油泵或干泵

3.12 保護裝置

 漏電保護,過熱保護

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