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半導體烤箱,wafer烤箱 電子行業(yè)專用儀器

半導體烤箱,wafer烤箱 電子行業(yè)專用儀器

簡要描述:

半導體烤箱,wafer烤箱于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料預處理烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

半導體烤箱,wafer烤箱用途:
  半導體烤箱,wafer烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料預處理烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

特點:
1.烤箱具有升溫快,溫度過沖小,節(jié)能等優(yōu)點;
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
3.采用環(huán)抱式熱風循環(huán)系統(tǒng),風源由循環(huán)馬達運轉帶動風輪經(jīng)電熱器,將熱風由風道送至烤箱內部,且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好;
4.強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到精密溫度控制精度。

產品技術參數(shù):  

 溫度范圍:RT+10~250℃;
 溫度均勻度:±2℃;    

 溫度波動度:±0.5℃        
 溫控精度:±0.1℃;        

 工作室尺寸:W600×D550×H600(mm)         
 電源:220v , 50Hz,3.0KW    

 網(wǎng)板:2塊(高度可調節(jié))

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