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全自動HMDS預(yù)處理系統(tǒng)
全自動HMDS預(yù)處理系統(tǒng)

全自動HMDS預(yù)處理系統(tǒng):帶有可自動吸取添加HMDS功能,智能型的程式設(shè)定,一鍵完成作業(yè)。HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。

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晶圓HMDS烤箱預(yù)處理系統(tǒng)
晶圓HMDS烤箱預(yù)處理系統(tǒng)

晶圓HMDS烤箱預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

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HMDS烘箱價格
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HMDS烘箱價格預(yù)處理性能更好,處理更加均勻,由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性.

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上海HMDS烘箱報價
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上海HMDS烘箱報價預(yù)處理性能更好,由于是在經(jīng)過數(shù)次的氮氣置換再進(jìn)行的HMDS處理,所以不會有塵埃的干擾,再者,由于該系統(tǒng)是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進(jìn)行,晶片在容器里先經(jīng)過100℃-160℃的去水烘烤,再接著進(jìn)行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機(jī)會大大降低,所以有著更好的處理效果。

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HMDS烘箱生產(chǎn)廠家
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HMDS烘箱生產(chǎn)廠家由于該系統(tǒng)是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進(jìn)行,晶片在容器里先經(jīng)過100℃-160℃的去水烘烤,再接著進(jìn)行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機(jī)會大大降低,所以有著更好的處理效果。

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HMDS預(yù)處理烘箱
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HMDS真空烘箱
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