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潔凈烤箱,10/100/1000級潔凈烤箱等級說明

更新時間:2017-07-13   點擊次數(shù):7550次

 潔凈度等級有標準就是ISO,還有國內(nèi)標準,10/100/1000級屬于國內(nèi)標準。10/100/1000的意思是:每立方米空氣內(nèi)含有微粒(微粒直徑大于等于0.1微米的zui大個數(shù)。例如,100級就是粒徑大于等于0.1微米的zui大微粒數(shù)不能大于100個。  
國標與ISO標準相對應(yīng): 10級相當于ISO4級,100級相當與ISO5級,1000級相當于ISO6級。
 

100級潔凈烤箱?用途:
  100級潔凈烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

100級潔凈烤箱特點:
1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100;
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機臺本身所產(chǎn)生微塵;
3.采平面水平由后向前送風熱風循環(huán)系統(tǒng),風源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風輪經(jīng)電熱器,將熱風由風道送至烤箱內(nèi)部,且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100;
4.強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到zui的溫度控制精度
100級潔凈烤箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù):

   無塵等級:Class 100; 可自定義10/1000級    

 溫度范圍:RT+10200℃;zui高溫度可自定義
   溫度均勻度:±2℃;    

 溫度波動度:±0.5℃(空載)        
   溫控精度:±0.1℃;        

 工作尺寸:W800×D800×H1000mm)可自定義         
   電源:380v , 50Hz,20KW    

 網(wǎng)板:2塊(高度可調(diào)節(jié))

 潔凈度100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風水平層流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。zui小限度控制風速距離。

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